与硅晶圆相比，SiC晶圆的生产难点在哪里？
文章导读：当前，以硅基为材料的晶圆已经开始从8英寸迈向了12英寸，当前环境下，与硅晶圆相比，SiC晶圆的生产难点会在哪里？麻豆精品国产传媒小伙伴给大家收集了一些资料，一起来看一下。
当前，以硅基为材料的晶圆已经开始从8英寸迈向了12英寸，当前环境下，与硅晶圆相比，SiC晶圆的生产难点会在哪里？麻豆精品国产传媒小伙伴给大家收集了一些资料，一起来看一下。
据介绍：“与硅材料芯片相比，8英寸和6英寸SiC生产的主要差别在高温工艺上，例如高温离子注入，高温氧化，高温激活等，以及这些高温工艺所需求的hard mask（硬掩模）工艺等。”而高温工艺关乎着SiC的良率，这也是各大SiC厂商所着力研发的关键环节之一。
除了与硅晶圆在生产工艺上有所差异以外，在SiC从6英寸向8英寸发展的过程中也存在着一些差异。“在功率半导体制造的离子注入、薄膜沉积、介质刻蚀、金属化等环节，8英寸碳化硅与6英寸SiC的差距不大。”某博士指出：“8英寸SiC的制造难点主要集中在衬底生长、衬底切割加工、氧化工艺。其中，衬底生长方面，扩径到8英寸，对衬底生长的难度会成倍增加；衬底切割加工方面，越大尺寸的衬底切割应力、翘曲的问题越显著；氧化工艺一直是碳化硅工艺中的核心难点，8英寸、6英寸对气流和温场的控制有不同需求，工艺需各自独立开发。”
显然，SiC向更大晶圆面积发展的路并不好走，在这一点上，从SiC从4英寸走向6英寸的过程中便可略窥一二——据 Yole 预测数据显示，2020 年4英寸SiC晶圆接近 10 万片，而 6英寸晶圆市场需求已超过8万片，预计将在2030年逐步超越4英寸晶圆。
本文来自于半导体行业观察，如有侵权，
请联系管理员，麻豆精品国产传媒将予以删除。
麻豆精品国产传媒电子12年专注研制麻豆果冻剧传媒在线播放机，等离子体清洗机，麻豆果冻剧传媒在线播放设备，常压大气和低压真空型低温麻豆视频APP免费版设备，大气低温等离子体表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的麻豆视频APP免费版解决方案，是行业内值得信赖的麻豆果冻剧传媒在线播放机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击麻豆精品国产传媒的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，麻豆精品国产传媒随时恭候您的来电！
麻豆精品国产传媒电子12年专注研制麻豆果冻剧传媒在线播放机，等离子体清洗机，麻豆果冻剧传媒在线播放设备，常压大气和低压真空型低温麻豆视频APP免费版设备，大气低温等离子体表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的麻豆视频APP免费版解决方案，是行业内值得信赖的麻豆果冻剧传媒在线播放机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击麻豆精品国产传媒的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，麻豆精品国产传媒随时恭候您的来电！
麻豆精品国产传媒推荐
行业资讯
- 医疗导管等离子蚀刻机介绍
- 昆山麻豆精品国产传媒通过高新技术企业重新认定
- 我国新能源汽车销量蝉联全球第一，新能源汽车促进麻豆果冻剧传媒在线播放机表面处理事业发展！
- 苹果发布两颗芯片：M2 Pro 和 M2 Max，麻豆果冻剧传媒在线播放机能够应用在上面吗？
- 2022年硬盘出货量：大幅下跌，接近腰斩，这对麻豆果冻剧传媒在线播放机有什么样影响呢？
- 博世在苏州投资建立新能源汽车核心部件及自动驾驶研发制造基地，促进麻豆果冻剧传媒在线播放机行业发展！
- 2022年汽车销量2686.4万，新能源市场占有率达到25.6%，麻豆果冻剧传媒在线播放机的能够带来什么变化？
- 确保芯片供应充分，重塑汽车产业集群，麻豆果冻剧传媒在线播放机成为汽车领域的一员呢？
- 电子后视镜正式在我国获批，新的市场出现，麻豆果冻剧传媒在线播放机能够做哪些工作呢？
- 中国半导体销售，同比大跌21.2%，麻豆果冻剧传媒在线播放机如何发展半导体方面的表面处理工艺？
苏公网安备 32058302002178号
